半導体製造装置基礎（前編）
概要・受講対象
半導体デバイス製造に携わる装置・プロセスエンジニア向けに、装置開発・量産視点で市場環境・産業構造のレクチャー、求められる技術要素（メカ、エレキ、ソフト、プロセス）を概略説明。加えて装置・プロセス技術詳細を、各半導体製造装置メーカーより解説。
本講座は一般社団法人日本半導体製造装置協会（SEAJ）会員企業によるコラボレーション講座です。
2024年2月16日に開催した「半導体製造装置（基礎）」と同じ内容です。
プログラム
※一部変更になる場合がございます
| タイトル | 内容 |
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１章 半導体産業・技術とエッチング装置概論
（講師：東京エレクトロン） |
半導体産業の全体概要
半導体デバイス製造：ロードマップ＆技術変化点
半導体製造プロセスとエッチング技術紹介・解説 |
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２章 露光装置概論
（講師：キヤノン） |
露光技術トレンド
パターニング技術紹介・解説 |
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３章 成膜装置概論
（講師：日本エー・エス・エム） |
成膜技術トレンド
成膜装置・プロセス技術紹介・解説 |
| ４章：洗浄装置概論 （講師：SCREEN セミコンダクターソリューションズ） |
洗浄技術トレンド
洗浄装置 技術紹介・解説 |
| ５章：電子ビーム応用計測技術概論 （講師：日立ハイテク） |
電子ビーム応用計測技術トレンド
SEM／TEM技術紹介・解説 |
開催概要
| 講 師 | 一般社団法人 日本半導体製造装置協会（SEAJ） 会員企業 |
| 開催日 | 令和6年10月4日(金) 10:00～17:30 |
| 開催形態 | ハイブリッド開催（対面＋オンライン） |
| 会 場 | ・対面形式の会場：福岡市早良区百道浜3-8-33 福岡システムLSI総合開発センター 2階 会議室 ・オンライン会場：Zoom Webinars（接続先はお支払い完了後ご案内） |
| 受講料等 | 税込 2,200円 ・対面、オンラインは同価格です。
・申込みには、「ふくおかIST e-learning」 への会員登録が必要です。
・お支払い後、当日の参加有無にかかわらず返金はいたしません。
・福岡県内中小企業の方には、受講料に対する補助制度があります。
・講座当日、全受講者にpdfテキスト配布(コピー、印刷不可。コメント追記可)、対面受講者には紙テキストも配布します。
なおテキストの無断転載・複製等は禁止しています。 ・オンライン受講は2画面(画面拡張モード：Zoom画面とpdfテキスト画面)を推奨します。
・特段の事情が発生した場合、やむを得ず中止又は延期する場合がございます。 |
| 定 員 | 対面 50名 オンライン 200名 |
| 申込み | 令和6年10月1日(火)までに、下記（講座・セミナー等 申込）ボタンより「半導体製造装置基礎（前編）」の 対面またはオンラインを選択してお申込みください |
本講座の申込みは終了しました。