公益財団法人 福岡県産業 科学技術振興財団 福岡半導体リスキリングセンター

お知らせ

半導体製造装置(基礎)の様子をご紹介します。223名のご参加、ありがとうございました!(2024年2月16日開催分)

一般社団法人 日本半導体製造装置協会(SEAJ)会員企業によるコラボレーション講座
「半導体製造装置(基礎)」の公開講座が2024年2月16日(金)に行われ、
対面受講・オンライン受講(ハイブリッド開催)併せて223名のご参加をいただき、大変ご好評をいただきました。

現在、ふくおかIST e-learningにおいて、「半導体製造装置(基礎)」のe-learning講座も配信しておりますので、
是非、受講をご検討ください。


1章 半導体産業・技術とエッチング装置概論

東京エレクトロン株式会社
早川 崇 様

■半導体産業概観
■技術ロードマップ&技術変化点
■半導体製造プロセスとエッチング技術紹介・解説
についてご講義いただきました。
ありがとうございました。



                                                                             


2章 露光装置概論

キヤノン株式会社
諸星 洋 様

■露光装置とは
■半導体素子の微細化と露光装置に求められる性能
■微細化に伴うパターニング技術の発展
■最先端のパターニング技術
についてご講義いただきました。
ありがとうございました。


                                                             


3章 成膜装置概論

日本エー・エス・エム株式会社
岡川 豊 様

■成膜技術トレンド
■成膜装置概要
■プロセス技術紹介・解説
についてご講義いただきました。
ありがとうございました。


                                                               


4章 洗浄装置概論

株式会社SCREEN
セミコンダクター
ソリューションズ
佐藤 雅伸 様

■なぜ半導体洗浄が必要か
■どのように半導体洗浄を行うか
■洗浄の技術トレンド
についてご講義いただきました。
ありがとうございました。


                                                          


5章 電子ビーム応用計測技術概論

株式会社日立ハイテク
酢谷拓路 様

■SEMの概要
■CD-SEM装置の概要
■SEMに関する新たな技術の紹介
についてご講義いただきました。
ありがとうございました。


                                                    


5章 電子ビーム応用計測技術概論

株式会社日立ハイテク
大西 毅 様

■FIBの原理
■TEM試料作製への応用
■3次元解析への応用
についてご講義いただきました。
ありがとうございました。